Патенти з міткою «еліпсометричного»
Спосіб еліпсометричного контролю якості поверхні кристалічних підкладок
Номер патенту: 68913
Опубліковано: 16.08.2004
Автори: Маслов Володимир Петрович, Сизов Федір Федорович, Сарсембаєва Анна Зулхаїрівна
Мітки: контролю, якості, спосіб, еліпсометричного, поверхні, кристалічних, підкладок
Формула / Реферат:
Спосіб еліпсометричного контролю якості полірування кристалічних підкладок, який полягає в тому, що установлюють кут падіння світла та азимут поляризатора та аналізатора еліпсометра, вимірюють еліпсометричні параметри порівнянням з еталоном, який відрізняється тим, що для еталона установлюють кут падіння світла, що дорівнює куту Брюстера даного матеріалу, а азимут поляризатора та аналізатора еліпсометра установлюють під кутом 90°, потім...