Патенти з міткою «літографії»

Номер патенту: 73569

Опубліковано: 15.08.2005

Автор: Кумахов Мурадін Абубєкіровіч

МПК: G03B 42/02, G21K 5/00

Мітки: пристрій, контактної, літографії

Формула / Реферат:

1. Пристрій для контактної літографії, що містить джерело м'якого рентгенівського випромінювання, півлінзу  для перетворення розбіжного випромінювання цього джерела в квазіпаралельне, яка має велику кількість каналів транспортування випромінювання з повним зовнішнім відбиванням, орієнтованих вздовж твірних бочкоподібних поверхонь, засоби для розміщення маски та підкладинки з нанесеним на неї резистом, розташовані з боку вихідного торця...