Патенти з міткою «магнетронна»

Номер патенту: 102744

Опубліковано: 25.11.2015

Автор: Гришкевич Олександр Дмитрович

МПК: C23C 14/00

Мітки: магнетронна, розпилююча, незбалансована, циліндрична, система

Формула / Реферат:

1. Незбалансована циліндрична магнетронна розпилююча система, що містить джерело живлення магнетронного розряду, джерело негативного зміщення підкладки, що ввімкнене між підкладкою і анодом магнетрона, анод, водоохолоджуваний трубчастий катод і розташовану в порожнині катода магнітну систему, яка відрізняється тим, що мінімальна конфігурація магнітної системи складається з одного блока трьох співвісних дискових магнітних полюсів, що...