Патенти з міткою «мікрошаруватих»

Номер патенту: 74155

Опубліковано: 15.11.2005

Автор: Гречанюк Микола Іванович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/06, C23C 14/02 ...

Мітки: термостабільних, мікрошаруватих, спосіб, одержання, матеріалів

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання мікрошаруватих термостабільних матеріалів, що включає послідовне осадження у вакуумі на підігріту основу, що обертається, шарів вихідних матеріалів, що випаровують з тиглів, який відрізняється тим, що основу підігрівають до температури, яка дорівнює або вище 0,3 температури плавлення матеріалу найменш тугоплавкого з матеріалів осадження, а на межі розділу осаджуваних шарів матеріалів, що чергуються, формують перехідну зону...