Патенти з міткою «нанопрофілометр»

Номер патенту: 90904

Опубліковано: 10.06.2010

Автор: Крупа Микола Миколайович

МПК: G02B 21/00

Мітки: лазерний, нанопрофілометр

Формула / Реферат:

Лазерний нанопрофілометр, який складається з корпусу, на якому закріплені і оптично зв'язані між собою лазер, дефлектор, світловий дільник, фокусуючий мікрооб'єктив, два фотоприймачі опорного і вимірювального сигналів і предметний столик, а також з генератора керуючих сигналів, електрично зв'язаного з дефлектором, і блока керування та обробки даних, що електрично зв'язаний з генератором керуючих сигналів і фотоприймачами опорного і...