Патенти з міткою «нвченергії»

Номер патенту: 5311

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Твердохліб Микола Григорович, Горбатюк Володимир Улянович

МПК: C23C 14/54

Мітки: пристрій, плівкових, нанесення, нвченергії, поглиначів

Формула / Реферат:

1.Устройство для нанесення пленочных по­глотителей СВЧ-энергии, содержащее источник испаряемого материала, подложкодержатель и трафарет, установленный между подложкодержателем и источником, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности нанесения плен­ки поглотителя, трафарет выполнен из нескольких частей, установленных с возможностью перемеще­ния один относительно другого в процессе нанесения поглотителя и расположен параллельно...