Патенти з міткою «підготовчого»

Номер патенту: 40305

Опубліковано: 16.07.2001

Автори: Кузьмичев Анатолій Іванович, Мельник Юрій Гнатович, Сидоренко Сергій Борисович

МПК: C23C 14/35

Мітки: розпилювальної, розряду, магнетронної, підготовчого, живлення, системі, джерело

Формула / Реферат:

Джерело для живлення підготовчого розряду в магнетронній розпилювальній системі (МРС), що містить послідовно з'єднані генератор постійної напруги і баластний резистор, яке відрізняється тим, що в ньому додатково з першим послідовно підключено генератори постійної напруги, причому загальна кількість генераторів постійної напруги дорівнює п, де п³ 2, а до негативного полюса кожного генератора напруги підключено...