Патенти з міткою «поганопровідних»

Номер патенту: 95809

Опубліковано: 12.09.2011

Автори: Рамм Юрген, Відріг Бено, Вольраб Крістіан

МПК: C23C 14/32, C23C 14/08

Мітки: шарів, осадження, поганопровідних, спосіб, варіанти

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання поганопровідних, зокрема електроізолюючих, шарів щонайменше на одній деталі за допомогою вакуумного нанесення покриттів, при якому між щонайменше одним анодом і катодом дугового джерела в атмосфері, що містить реактивний газ, створюють електричний дуговий розряд та здійснюють випаровування мішені, який відрізняється тим, що на поверхні електрично з'єднаної з катодом мішені створюють лише невелике, в основному,...