Патенти з міткою «вакуумуванні»
Спосіб контролю ступеня очищення вакуумної камери при її вакуумуванні
Номер патенту: 106462
Опубліковано: 26.08.2014
Автори: Моісеєнко Володимир Євгенович, Коровін Валерій Борисович
МПК: F04F 9/00, F04B 37/00, G01L 21/00 ...
Мітки: ступеня, спосіб, контролю, очищення, камери, вакуумної, вакуумуванні
Формула / Реферат:
Спосіб контролю ступеня очищення вакуумної камери при її вакуумуванні, що включає періодичне вимірювання тиску відкачуваних газів, який відрізняється тим, що відкачувані гази конденсують на охолоджуваній поверхні кріогенної пастки, яка сполучена з вакуумною камерою і вакуумним насосом, потім з ємності для кріогенної рідини кріогенної пастки видаляють кріогенну рідину, ізолюють кріогенну пастку від вакуумної камери і від вакуумного насоса,...