Патенти з міткою «змінюваний»
Оптично змінюваний захисний пристрій та спосіб виготовлення вказаного пристрою
Номер патенту: 96937
Опубліковано: 26.12.2011
Автор: Холмс Брайан Уілльям
МПК: G03F 7/00, B42D 15/00
Мітки: захисний, пристрій, оптично, пристрою, виготовлення, змінюваний, вказаного, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб формування захисного пристрою, який включає:a) забезпечення непроявленого фоторезистивного шару на електропровідному шарі;b) формування першого дифракційного шаблона на непроявленому фоторезистивному шарі за допомогою оптичної інтерферометрії;c) формування другого дифракційного шаблона в непроявленому фоторезистивному шарі за допомогою електронно-променевої літографії, при цьому частини другого дифракційного...