Алімов Святослав Сергійович
Спосіб вимірювання електронної температури плазми і пристрій для здійснення способу
Номер патенту: 76789
Опубліковано: 15.09.2006
Автори: Бобков Володимир Валентинович, Бобков Валентин Васильович, Алімов Святослав Сергійович, Азарєнков Микола Олексійович, Онищенко Андрій Володимирович, Залкінд Віктор Михайлович, Старовойтов Роман Іванович
МПК: H05H 1/00
Мітки: вимірювання, плазми, здійснення, способу, спосіб, температури, електронної, пристрій
Формула / Реферат:
1. Спосіб вимірювання електронної температури плазми, який включає подання на занурений в плазму електричний зонд змінної напруги високої частоти, яка набагато менша від плазмової частоти електронів і яку попередньо модулюють по амплітуді, і детектування вимірювального сигналу, що формується зондовим струмом на ємності, який відрізняється тим, що вимірюють зондовий струм для двох різних значень амплітуди змінної напруги високої частоти,...