Аврамєнко Анатолій Васільєвіч
Спосіб пірометричного вимірювання
Номер патенту: 55788
Опубліковано: 15.04.2003
Автори: Скубілін Міхаіл Дємьяновіч, Аврамєнко Анатолій Васільєвіч, Пісьмєнов Алєксандр Владіміровіч
МПК: H01L 21/00, H01L 21/66, G01J 5/58 ...
Мітки: вимірювання, спосіб, пірометричного
Формула / Реферат:
Спосіб пірометричного вимірювання, який полягає в тому, що він передбачає прийом теплового випромінювання об'єкта і його спектральну фільтрацію, який відрізняється тим, що вимірювання інтенсивностей випромінювання здійснюють на двох фіксованих довжинах хвиль, а температуру поверхні об'єкта розраховують як частку від ділення відносної різниці інтенсивностей випромінювань на відрізних довжинах хвиль на різницю довжин цих хвиль.