Бібер Володимир Іванович
Спосіб нанесення матеріалу для осадження на деталь та пристрій для напилення матеріалу на заготовку
Номер патенту: 82852
Опубліковано: 26.05.2008
Автори: Бібер Володимир Іванович, Білоусов Ігор Володимирович, Кузьмичєв Анатолій Іванович, Меммен Роберт Л.
МПК: C23C 14/14, C23C 14/34, F01D 5/28 ...
Мітки: матеріалу, спосіб, нанесення, напилення, пристрій, заготовку, деталь, осадження
Формула / Реферат:
1. Спосіб нанесення матеріалу для осадження на деталь, який включає:поміщення деталі в камеру для осадження,прикладання першого електричного потенціалу до деталі,випарювання одного або кількох перших компонентів для утворення матеріалу для осадження,іонізацію випарених перших компонентів, причому перший електричний потенціал спрямовує іонізовані перші компоненти до деталі, який відрізняється тим, щоіони...