Боревська Марина Володимирівна
Спосіб контролю густини парів під час вакуумного нанесення покриттів
Номер патенту: 42902
Опубліковано: 15.11.2001
Автори: Коваленко Олександр Самуїлович, Устименко Володимир Миколайович, Северін Володимир Іванович, Боревська Марина Володимирівна
МПК: C23C 14/54
Мітки: спосіб, парів, покриттів, нанесення, контролю, густини, вакуумного
Текст: