Борзяк Наталя Григорівна
Керований мікроелектромеханічний конденсатор
Номер патенту: 84440
Опубліковано: 27.10.2008
Автори: Мішан Віктор Володимирович, Борзяк Наталя Григорівна, Доброва Вікторія Євгенівна, Колпаков Федір Федорович
МПК: H01G 15/00
Мітки: конденсатор, мікроелектромеханічний, керований
Формула / Реферат:
Керований мікроелектромеханічний конденсатор, який містить нерухомий електрод, нанесений на діелектричну підкладку, та групу рухомих електродів, кожний з яких з'єднано з елементами кріплення їх до підкладки пружними підвісами та джерелом напруги керування, який відрізняється тим, що елементи кріплення виконано у вигляді діелектричної коміркової структури, яку жорстко закріплено по контуру на підкладці, у кожній комірці на однакових пружних...