Бюргер Норберт
Пристрій і спосіб очищення об’єктів, зокрема тонких дисків
Номер патенту: 92773
Опубліковано: 10.12.2010
Автор: Бюргер Норберт
МПК: H01L 21/00
Мітки: об'єктів, спосіб, зокрема, дисків, очищення, пристрій, тонких
Формула / Реферат:
1. Пристрій для очищення тонких пластин (6), в якому пластини (6) закріплені однією стороною на несучому пристрої (2), і при цьому утворений проміжок (7) між двома суміжними пластинами (6), причому пристрій по суті складається з:промивального пристрою (15), за допомогою якого текуче середовище вводиться у відповідні проміжки (7), і бака (14), який може наповнюватися текучим середовищем і виконаний з такими розмірами, що вміщає несучий...