Дейнека Іван Сергійович
Спосіб виготовлення матриці терморезистивних перетворювачів
Номер патенту: 76885
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Козирський Володимир Вікторович, Решетюк Володимир Михайлович, Осінов Сергій Миколайович, Лупіна Борис Іванович, Орлов Анатолій Тимофійович, Дейнека Іван Сергійович
Мітки: спосіб, виготовлення, матриці, перетворювачів, терморезистивних
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення матриці терморезистивних перетворювачів, що полягає у тому, що формують на підкладці з кремнію діелектричну плівку шляхом нанесення шару діоксиду кремнію товщиною 0,05-0,1 мкм, потім шар нітриду кремнію товщиною 0,1 мкм та термочутливий металевий шар, а також рисунок останнього, та анізотропно витравлюють підкладку кремнію до товщини мікромоста, який відрізняється тим, що після нанесення нітриду кремнію формують рисунок...