Драненко Олексій Сергійович

Номер патенту: 107194

Опубліковано: 25.05.2016

Автори: Карпець Мирослав Васильович, Драненко Олексій Сергійович

МПК: C23C 4/06

Мітки: тонкої, силіцидної, композиційної, отримування, плівки, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб отримування композиційної силіцидної тонкої плівки Me1Si2-MelMe2Si2, який включає формування тонкої плівки шляхом осадження металу Me1 на підкладку кремнію, формування силіциду металу Me1 шляхом термообробки підкладки, на якій сформована тонка плівка Me1, який відрізняється тим, що термообробку проводять в атмосфері відпалу, де присутні атоми металу Ме2.

Номер патенту: 42503

Опубліковано: 10.07.2009

Автори: Драненко Олексій Сергійович, Талаш Віктор Миколайович, Дворіна Людмила Андріївна

МПК: C23C 4/06

Мітки: плівок, отримування, антикорозійних, керамічних, спосіб, тонких

Формула / Реферат:

Спосіб отримування антикорозійних керамічних тонких плівок, який включає розпилення керамічної мішені в атмосфері інертного газу на підкладку, який відрізняється тим, що керамічну мішень розпилюють магнетронним методом при температурі підкладки, яку підтримують нижчою за температуру кристалізації плівки та достатньою для забезпечення безруйнівної аморфізації плівки.