Джон Т. Фелтс
Спосіб нанесення плівок на основі оксиду кремнію
Номер патенту: 12650
Опубліковано: 28.02.1997
Автори: Джон Т. Фелтс, Юджін С. Лопата
МПК: C23C 14/32
Мітки: оксиду, нанесення, спосіб, плівок, кремнію, основі
Формула / Реферат:
(57) 1. Способ нанесения пленок на основе оксида кремния, включающий напуск в предварительно вакуумированный рабочий объем регулируемого газового потока, содержащего летучее кремнийорганическое соединение и кислород, возбуждение и удержание плазмы тлеющего разряда вблизи поверхности конденсации, отличающийся тем, что в газовый поток дополнительно вводят инертный газ при соотношении расходов потоков кремнийорганического соединения и...