Джон Т. Фелтс

Спосіб нанесення плівок на основі оксиду кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 12650

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Джон Т. Фелтс, Юджін С. Лопата

МПК: C23C 14/32

Мітки: оксиду, нанесення, спосіб, плівок, кремнію, основі

Формула / Реферат:

(57)  1. Способ нанесения пленок на основе оксида кремния, включающий напуск в предварительно вакуумированный рабочий объем регулируемого газового потока, содержащего летучее кремнийорганическое соединение и кислород, возбуждение и удержание плазмы тлеющего разряда вблизи поверхности конденсации, отличающийся тем, что в газовый поток дополнительно вводят инертный газ при соотношении расходов потоков кремнийорганического соединения и...