Джон Т.Фелтс
Спосіб управління плазмовим осадженням тонких плівок у вакуумі
Номер патенту: 18259
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Джон Т.Фелтс, Юджин С.Лопата
МПК: C23C 14/00
Мітки: плівок, плазмовим, управління, спосіб, тонких, осадженням, вакуумі
Формула / Реферат:
1. Способ управления плазменным осаждением тонких пленок в вакууме, включающий генерирование плазмы со множеством управляемых рабочих параметров, содержащий некоторое множество атомных и/или молекулярных веществ, каждое из которых обладает эмиссией электромагнитного излучения, природа каждой изменяется при изменении рабочих параметров, и детектирование интенсивности эмиссии из плазмы, отличающийся тем, что детектирование интенсивностей...