Файнойгле Петер
Пристрій генерування електронного променя
Номер патенту: 109032
Опубліковано: 10.07.2015
Автори: Вайске Дітер, Маттауш Геста, Файнойгле Петер, Фласке Хенрік, Кірххофф Фолькер, Цайбе Райнер
МПК: H01J 37/075, H01J 37/077, H01J 3/02 ...
Мітки: пристрій, генерування, електронного, променя
Формула / Реферат:
1. Пристрій генерування електронного променя, що включає в себе корпус (12), який обмежує вакуумований простір (13) і має отвір для виходу електронного променя; впуск (16) для подання робочого газу у вакуумований простір (13); плоский катод (14) і анод (15), які розташовані у вакуумованому просторі (13) і між якими за допомогою прикладеної електричної напруги створюється плазма тліючого розряду, при цьому іони з плазми тліючого розряду...