Гавриш Валерій Іванович
Пристрій для нанесення шарів з газової фази
Номер патенту: 69922
Опубліковано: 25.05.2012
Автори: Завірюха Микола Володимирович, Бондаренко Олександр Володимирович, Селезньов Юрій Володимирович, Гавриш Валерій Іванович
МПК: B05C 5/00
Мітки: шарів, фазі, пристрій, нанесення, газової
Формула / Реферат:
Пристрій для нанесення шарів з газової фази, що включає реактор з розташованим всередині нього підкладкотримачем, нагрівачем та виконаний у вигляді ежектора пристрій введення в реактор вихідної газової суміші, що з'єднаний із засобом виведення суміші газів з реактора, який відрізняється тим, що ежектор виконаний вихровим, а кут звуження приймальної камери на виході приймає значення з інтервалу 10-120°.