Груздєв Віталій Євгенійович
Спосіб генерації високорегулярних лазерних періодичних структур на поверхні кремнію ультракороткими лазерними імпульсами
Номер патенту: 112567
Опубліковано: 26.12.2016
Автори: Гніліцький Ярослав Миколайович, Груздєв Віталій Євгенійович
МПК: B23K 103/00, B23K 26/00
Мітки: спосіб, поверхні, високорегулярних, ультракороткими, кремнію, періодичних, лазерних, імпульсами, структур, лазерними, генерації
Формула / Реферат:
1. Спосіб генерації високорегулярних лазерних періодичних структур на поверхні кремнію ультракороткими лазерними імпульсами з надшвидким перебігом лазерного сканування, який відрізняється тим, що складається з наступних етапів:а) обробляють площу поверхні кремнію з використанням імпульсного лазерного променя, в якому довжина імпульсу випромінювання лазерного променя менше за час, необхідний для електронів в кремнії, щоб передати свою...