H01L 29/744 — з виключенням приладів по керуючому електроду
Спосіб виготовлення тиристора розмикання з запірним шаром з боку анода та прозорим анодним емітером
Номер патенту: 43894
Опубліковано: 15.01.2002
Автори: Клака Свен, Вебер Андре, Гальстер Норберт
МПК: H01L 29/744
Мітки: виготовлення, емітером, запірним, прозорим, анода, шаром, анодним, розмикання, тиристора, спосіб, боку
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення тиристора розмикання (1), що включає одержання запорного шару (3) з боку анода та прозорий анодний емітер (2) ,який відрізняється тим, що на першому етапі одержують анодний емітер (2), товщина якого більше 0,5 мкм та менше 5 мкм, а концентрація домішок .котрого більше, 1017 см-3 та менше 5 х 1018 см -3, а потім на другому етапі потрібне значення ефективності анодного емітера (2) встановлюють за рахунок локального...