H01Q 13/26 — з поверхневим хвилеводом, утвореним одним провідником, наприклад Полосковим провідником
Пристрій для неруйнівного контролю товщини діелектричних тонких плівок
Номер патенту: 97051
Опубліковано: 26.12.2011
Автори: Шубенко Олександр Леонідович, Євич Микола Леонідович, Суслов Микола Миколайович, Павлов Борис Сергійович, Буданов Валентин Євгенович
МПК: G01N 22/00, H01Q 13/26
Мітки: товщини, неруйнівного, тонких, плівок, пристрій, контролю, діелектричних
Формула / Реферат:
Пристрій для неруйнівного контролю товщини тонких діелектричних плівок, що містить хвилевідний тракт із діелектричним хвилеводом прямокутного поперечного перерізу, пристрої вводу та виводу НВЧ потужності, який відрізняється тим, що хвилевідний тракт виконаний на планарному діелектричному хвилеводі, який має довжину кілька десятків довжин хвиль (), але не менше