Капшуков Роман Анатолійович
Спосіб формування на поверхні багатокомпонентних оксидів тонких шарів зі зміненим складом і властивостями
Номер патенту: 82065
Опубліковано: 25.07.2013
Автори: Капшуков Роман Анатолійович, Богомолов Анатолій Григорович, Мельничук Ігор Олександрович
МПК: H01F 10/00
Мітки: шарів, властивостями, тонких, спосіб, складом, поверхні, формування, багатокомпонентних, оксидів, зміненим
Формула / Реферат:
Спосіб формування на поверхні багатокомпонентних оксидів тонких шарів зі зміненим складом і властивостями, що включає опромінення іонами інертного газу плівки, який відрізняється тим, що опромінення здійснюють іонами інертних газів середніх енергій 10-30 кеВ для формування шару необхідної товщини із зміненою провідністю або магнітною сприйнятливістю під одночасним контролем методом іонно-фотонної емісії, спостерігаючи за інтенсивністю...