Каверіна Світлана Миколаївна
Спосіб виготовлення карбідокремнієвих нановолокон
Номер патенту: 79767
Опубліковано: 25.07.2007
Автори: Шлапак Анатолій Миколайович, Скороход Валерій Володимирович, Силенко Петро Митрофанович, Каверіна Світлана Миколаївна, Рагуля Андрій Володимирович
МПК: C01B 31/36, C30B 28/00
Мітки: карбідокремнієвих, виготовлення, нановолокон, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення карбідокремнієвих нановолокон, що включає газофазне хімічне осадження карбіду кремнію з застосуванням Fe, Co, Ni каталізаторів, який відрізняється тим, що як джерела кремнію та вуглецю застосовують метилтрихлорсилан, а парогазову суміш складають з метилтрихлорсилану та водню в співвідношенні 1:50-1:130, яку при атмосферному тиску направляють в реактор з швидкістю 0,1-0,5 л/хв. і в температурному діапазоні 850-1000°С...