Хопвуд Джеффрі А.

Номер патенту: 59401

Опубліковано: 15.09.2003

Автори: Хопвуд Джеффрі А., Пеппас Девід Л.

МПК: C23C 16/26

Мітки: алмазоподібним, покриття, кромок, вуглецем, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб утворення плівки алмазоподібного вуглецю на підкладці, який включає такі етапи:заповнення простору навколо підкладки середовищем газоподібного вуглеводню; ігенерування плазми в зазначеному середовищі з щільністю електронів, що перевищує 5´1010 на см3 і товщиною оболонки, меншою від 1,7 мм, в умовах високої щільності потоку іонів і бомбардування іонами керованої низької енергії, при цьому зазначені умови включають...