Кордубан Олександр Михайлович

Спосіб аналізу поверхні твердого тіла спектральним методом та пристрій для його здійснення

Завантаження...

Номер патенту: 57252

Опубліковано: 16.06.2003

Автори: Кордубан Олександр Михайлович, Шпак Анатолій Петрович, Уваров Віктор Миколайович, Волков Сергій Васильович, Пехньо Василь Іванович

МПК: G01N 23/00, G01N 1/34, G01N 21/00 ...

Мітки: аналізу, методом, твердого, здійснення, спосіб, поверхні, тіла, пристрій, спектральним

Формула / Реферат:

1. Спосіб аналізу поверхні твердого тіла спектральним методом, який включає видалення забруднюючого шару з поверхні твердого тіла, після введення його в вакуумну камеру спектрального пристрою, обробкою випромінюванням і реєстрацію спектру, який відрізняється тим, що обробку поверхневого шару здійснюють імпульсом випромінювання галогенної лампи, величина потужності якого при поглинанні поверхнею твердого тіла достатня для випаровування...

Спосіб очистки поверхні в вакуумі та пристрій для його здійснення

Завантаження...

Номер патенту: 57251

Опубліковано: 16.06.2003

Автори: Шпак Анатолій Петрович, Уваров Віктор Миколайович, Волков Сергій Васильович, Пехньо Василь Іванович, Кордубан Олександр Михайлович

МПК: G01N 1/34, B08B 7/00

Мітки: поверхні, пристрій, очистки, вакуумі, здійснення, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб очистки поверхні в вакуумі, який включає видалення забрудненого поверхневого шару зразка обробкою випромінюванням, який відрізняється тим, що очистку поверхні здійснюють імпульсом випромінювання галогенної лампи, потужність випромінювання якої достатня для випаровування поверхневого шару забруднення.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що потужність W імпульсу випромінювання визначають згідно з рівняннямW =...