Костюк Олена Олександрівна

Номер патенту: 12165

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Ленніков Леонід Олександрович, Костюк Олена Олександрівна, Бессонов Валерій Андрійович

МПК: C23C 14/34

Мітки: мішені, спосіб, кварцевої, приєднання, катоду

Формула / Реферат:

Способ присоединения кварцевой мишени к катоду, включающий вакуумное нанесение по­крытия на контактирующие поверхности мишени и катода и соединение мишени и катода путем на­грева и прижима в вакууме, отличающийся тем, что, с целью увеличения прочности сцепления ми­шени с катодом, прижим катода к мишени осуще­ствляются с усилием ³ 0,25 кг/см, нагрев их ведут до температуры 260-280°С и выдерживают при этой температуре в течение 8-10...