Косячков Олександр Олександрович

Номер патенту: 18038

Опубліковано: 17.06.1997

Автори: Косячков Олександр Олександрович, Черепін Валентин Тихонович

МПК: G01J 3/00, G01N 23/22

Мітки: аналізу, твердого, поверхні, спосіб, тіла

Формула / Реферат:

Способ анализа поверхности твердого тела, заключающийся в бомбардировке поверхности пучком ионов, испускаемых с острия жидкометаллического источника ионов, с последующим выбиванием из поверхности вторичных частиц и их анализом, отличающийся тем, что предварительно размещают жидкометаллический источник ионов непосредственно вблизи поверхности образца и устанавливают зазор d между иглой жидкометаллического источника ионов и поверхностью,...