Кулініч Олег Анатолієвич
Спосіб отримання наноструктурованого кремнію пластичною деформацією
Номер патенту: 69713
Опубліковано: 10.05.2012
Автори: Яцунський Ігор Ростиславович, Сминтина Валентин Андрійович, Кулініч Олег Анатолієвич, Марчук Ігор Олексійович
МПК: B82B 3/00, G02B 26/00
Мітки: отримання, кремнію, пластичною, спосіб, наноструктурованого, деформацією
Формула / Реферат:
Спосіб отримання наноструктурованого кремнію пластичною деформацією, який полягає в окислюванні пластини монокристалічного кремнію і видаленні кремнію хімічними засобами, який відрізняється тим, що пластини монокристалічного кремнію перед окислюванням витримують у середовищі сухого кисню при температурі (1050-1150) °С протягом 15 хв., що призводить до появи пластичної деформації у пластині кремнію, внаслідок чого з'являються дислокаційні...