Лещінер Яков Аркадійович
Пристрій для хіміко-термічної обробки виробів у вакуумі
Номер патенту: 14390
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Ступак Римма Іванівна, Гольдинер Євген Георгійович, Андреєв Анатолій Афанасійович, Лещінер Яков Аркадійович, Саблєв Леонід Павлович, Шелохаєв Володимир Іванович
МПК: C23C 14/32
Мітки: вакуумі, виробів, обробки, хіміко-термічної, пристрій
Формула / Реферат:
Устройство для химико-термической обработки изделий в вакууме, содержащее камеру с размещенными в ней разрядными электродами, разделенными оптически непрозрачным, проницаемым для электрического поля экраном, отличающееся тем, что, с целью повышения стабильности процесса обработки, экран выполнен в виде углового патрубка, один из торцов которого соединен с камерой, а на другом установлен катод, поверхность испарения которого размещена вне...