Лонвен Лоран
Технологічна піч і подібне устаткування
Номер патенту: 94098
Опубліковано: 11.04.2011
Автори: Жуаннар Філіп, Лонвен Лоран
МПК: C23C 16/04, C23C 16/46
Мітки: піч, подібне, устаткування, технологічна
Формула / Реферат:
1. Піч для хімічної інфільтрації з газової фази/хімічного осадження з газової фази, яка містить зовнішній кожух (12, 12') печі, розташовану в кожусі печі реакційну камеру (14, 14'), призначену для прийому елемента, що підлягає обробці, нагрівальну систему (22) для нагрівання щонайменше реакційної камери і систему циркуляції газу-реагенту, призначену для введення газу-реагенту в реакційну камеру ззовні кожуха печі і для проведення...