Немченко Іван Максимович

Номер патенту: 17328

Опубліковано: 01.04.1997

Автори: Гринавцев Валерій Микитович, Немченко Іван Максимович

МПК: C23C 14/32, C23C 14/00

Мітки: вакуумного, нанесення, покриття, пристрій

Формула / Реферат:

Установка для вакуумного нанесения покрытий, содержащая вакуумную камеру, подвижный расходуемый элемент, снабженный средством для поступательного перемещения, вакуумные трубопроводы, источники питания, отличающаяся тем, что вакуумная камера имеет прямоугольную форму поперечного сечения с соотношением высоты к ширине от 2 : 1 до 3 : 1, причем в качестве расходуемого элемента использован катод электродугового испарителя.