Пешко Анатолій Володимирович

Номер патенту: 16254

Опубліковано: 17.07.2006

Автори: Пешко Анатолій Володимирович, Ярошенко Павло Олександрович, Цибенко Олександр Сергійович

МПК: H01L 31/18

Мітки: спосіб, сонячного, елемента, виготовлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення сонячного елемента, який включає операції формування на лицьовій поверхні n+ шару, створення на тильній поверхні підкладки p+ шару, травлення торців пластини, нанесення просвітлюючого покриття і формування контактів, який відрізняється тим, що n+ шар, легований фосфором, утворюють шляхом двоетапної дифузії з заганянням домішки протягом 5-20 хв і розгонкою домішки протягом 30-100 хв при температурі 790...870°С, проводять...