Рожановський Михайло Ігоревич
Спосіб обробки керамічної підложки
Номер патенту: 1289
Опубліковано: 30.12.1993
Автори: Нагібіна Тетяна Хосрівна, Рожановський Михайло Ігоревич, Родіонов Валерій Євгенович, Шаповал Світлана Леонідівна
МПК: C04B 41/91, H01L 21/02
Мітки: підложки, спосіб, керамічної, обробки
Формула / Реферат:
1. Способ обработки керамической подложки сначала в плавиковой кислоте, затем в горячем травителе, включающем 83—95% серную кислоту и сернокислую соль, отличающийся тем, что в составе травителя в качестве сернокислой соли используют сульфат алюминия в количестве 1,5— 3,5 мас.%, травление ведут при 90—140°С фотолитографическим методом, причем, перед травлением на поверхность подложки наносят защитную маску тугоплавкого металла. 2. Способ по...