Рябенко Сергій І.
Спосіб контролю за подачею струму для електронного променя електронно-променевої гармати, джерело живлення електронного променя електронно-променевої гармати та пристрій для осадження
Номер патенту: 112404
Опубліковано: 12.09.2016
Автори: Кірушко Володимир В., Джеймс В. Ніл, Рябенко Сергій І.
МПК: C23C 14/30, C23C 14/24, C23C 14/54 ...
Мітки: контролю, живлення, гармати, подачею, джерело, пристрій, променя, струму, електронного, електронно-променевої, осадження, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб контролю за подачею струму для електронного променя електронно-променевої гармати, у якому: встановлюють задане значення рівня високої напруги для виходу високовольтного джерела живлення електронного променя;встановлюють задане значення струму електронного променя;встановлюють задане значення струму для волоска розжарювання катода;відстежують вихідну напругу високовольтного джерела живлення...