Сарапулов Сергій Адольфович

Номер патенту: 40048

Опубліковано: 25.03.2009

Автори: Сарапулов Сергій Адольфович, Кучеренко Євген Трохимович, Костюкевич Олександр Миколайович

МПК: B22F 3/105

Мітки: тонких, одержання, плівок, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для одержання тонких плівок, який містить вакуумну камеру з розміщеним в ній блоком термічного напилення, що містить послідовно розташовані екран, випаровувач, заслінку та підкладкотримач, який відрізняється тим, що додатково містить систему напуску інертного газу у вакуумну камеру, а у вакуумній камері додатково встановлені два блоки порожнинних катодів, причому кожний блок порожнинних катодів електрично з'єднаний з джерелом...