Шаран Віктор Миколайович
Оптичний вимірювач товщини тонких плівок
Номер патенту: 85851
Опубліковано: 10.12.2013
Автор: Шаран Віктор Миколайович
МПК: G01B 11/00
Мітки: оптичний, вимірювач, товщини, плівок, тонких
Формула / Реферат:
Оптичний вимірювач товщини тонких плівок, що містить джерело світла, спектрометр з оптоволоконними компонентами для вимірювання зміни характеристик інтерференції відбитого від плівки світла, який відрізняється тим, що містить фотоприймач для вимірювання поглинання світла матеріалом плівки, причому світловий потік не модулюється в часі.