Василига Ірина Василівна
Спосіб окиснення кремнію
Номер патенту: 50184
Опубліковано: 15.10.2002
Автори: Бакунцев Олександр Васильович, Василига Ірина Василівна
МПК: H01L 21/02
Мітки: спосіб, окиснення, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб окиснення кремнію, що включає розміщення кремнієвої пластини у високотемпературному кварцовому реакторі та створення електричного поля у окисному середовищі, який відрізняється тим, що електричне поле створюють прикладанням напруги між резистивним нагрівачем, котрий знаходиться на поверхні кварцового реактора, і термопарою, що знаходиться в середині реактора, при цьому негативний потенціал прикладають до нагрівача, а значення напруги...