Вендеревских Вікторія Володимирівна
Еліпсометр
Номер патенту: 22012
Опубліковано: 30.04.1998
Автори: Мураров Олександр Пантелійович, Вендеревских Вікторія Володимирівна, Вендеревских Олександр Борисович
МПК: G01N 21/21, G01J 4/00
Мітки: еліпсометр
Формула / Реферат:
Эллипсометр, содержащий излучатель, механический модулятор, четвертьволновые пластинки, поляризатор, компенсатор, анализатор, фотоприемное устройство, механизм синхронного разворота плеч поляризатора и анализатора, отличающийся тем, что отсчетное устройство азимутов поляризатора, анализатора и угла разворота плеч поляризатора и анализатора выполнено в виде круговых поворотных индуктовинов, подвижные кольца которых жестко связаны...