Задніпровський Юрій Олексійович

Вакуумно-дугове джерело плазми

Завантаження...

Номер патенту: 46887

Опубліковано: 17.06.2002

Автори: Білоус Віталій Арсентійович, Ломіно Микола Степанович, Аксьонов Іван Іванович, Задніпровський Юрій Олексійович, Овчаренко Валерій Давидович

МПК: H05H 1/26, C23C 4/00

Мітки: вакуумно-дугове, джерело, плазми

Формула / Реферат:

1. Вакуумно-дугове джерело плазми, що містить циліндричний катод з торцевою робочою поверхнею, коаксіальний з катодом трубчастий анод, соленоїд на зовнішній поверхні анода, підпалюючий пристрій поблизу бокової поверхні катода, екрануючий циліндричний електрод між катодом та анодом і вузол стикування з вакуумною камерою, яке відрізняється тим, що торцева робоча поверхня катода зміщена усередину анода відносно до його вихідного отвору на...