Скло для міжшаркової ізоляції

ДЛЯ СЛУЖЬБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ Э О - > СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН (19) SIL1676206 А1 С 03 С 8/08 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ і (21) 4793201/33 (22) 05.03.90 (71) Днепропетровский химико-технологический институт им. Ф.Э.Дзержинского (72) Я.И.Белый, В.И.Голеус, С.И.Максимович , А.В.Носе нко, Н.Ю.Ильченко и Т.И.Козырева (53) 666.112.92(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1276639, кл. С 03 С 8/24, 1985. Авторское свидетельство СССР № 1624928, кл. С 03 С 8/24, 1989. (54) СТЕКЛО ДЛЯ МЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦИИ Изобретение относится к составам электроизоляционных стекол, используемых в микроэлектронике для создания изоляционных стеклокристаллических покрытий на керамической подложке. Целью изобретения является снижение температурного коэффициента линейного расширения при температуре размягчения не ниже 850°С. Стекло обеспечивает качественное многослойное стеклокристаллическое покрытие на керамических подложках. Шихты стекол готовят из оксидов магния, цинка, фосфата алюминия (Л.1Р04* ЗН^О) , глинозема с удельной поверхностью не ниже 8000 см 2 /г и борной кислоты, тщательно перемешивают ,и варят в корундизовых тиглях при температуре 145О-|55О°С в течение 2 ч. Готовую стекломассу фриттуют на воду, высушивают, измельчают в планетарн 33-91 (57) Изобретение относится к составам электровакуумных стекол, используемых в микроэлектронике для изоляционных стеклокристаллических покрытий по керамике. С целью снижения температурного коэффициента линейного расширения при температуре размягчения не ниже 850 е С стекло для межслойной изоляции содержит следующие компоненты, мас.%: MgO 13,0-16,0, В г 0 3 19,0-21,0, А 1 2 0 э 38,5-40,0, P^Os: 13,0-14,5, ZnO 11,0-^5,0. ТКЛР стекла (59,664,1)'10~ 1/град, температура начала размягчения 850°С. 2 табл. мельнице (размер зерен не более . 10 мкм) в среде изопропилового спирта. Затем сушат полученный шликер Ьхш* с целью удаления спирта (t=t50°C), добавляют поливиниловый спирт в качрстве связки и формуют образцы для определения свойств. Полученные образцы спекают, плавно повышая температуру в муфельной печи до 850°С (С 0 » =15 м и н ) . Составы стекол и их основные бизико-химические свойства приведены в табл. 1 и 2, Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я Стекло для межслойной изоляции, включающее Р^О^, В^О-, MgO, А1.0-,, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения температурного коэ'ЫЪициента линейного расширения при темпе_атуре размягчения не ниже 050 С, ом.і 1676206 дополнительно годержнт ZnO при следующем соотношении компонентов, мас.%: 13-14,5, В г 0 3 19-21, ifgO 13-16, 3 38540 А1 г 0 э 38,5-40, ZnO 11-15. Т а б л и ц а 1 Содержание, мае Л , в синтезированных стеклах Оксиды ЛІТІ I 16,0 11,0 21,0 39,0 13,0 MgO ZnO В 2°Э А1 7 0з pzof 13, 0 15, 0 19, 0 38, 5 14, 5 3 13,5 13,0 20,0 40,0 13,5 Т а б л и ц а 2 Показатели свойств * в стеклах Свойства [II Прототип ТКЛРоЫО7(2О400°С), 1/град Температура начала размягчения t и ,р » С Диэлектрическая проницаемость (f«t кГц, с= =2t/°C) 1 69,8 64,1 59,6 60,7 850 850 850 850 3 і 6,06 6,03 6,11 Ь,23 *После термообработки при 850 С в течение 15 мин, Редактор Г.Наджарян Составитель С.Велобокова Техред М.Дидык Корректор С.Шекмар ' , Заказ 3531/ДСП Тираж /67 ' Подписное """"" ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС? 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101