Спосіб запису інформації на диск-оригінал

1. Спосіб запису інформації на диск-оригінал, який полягає у нанесені на підкладку дискаоригіналу шару фоторезисту, експонування його оптичними імпульсами різної тривалості крізь імерсійну рідину, який відрізняється тим, що запис здійснюють крізь прозору підкладку дискаоригіналу, простір між якою та фокусуючим об'єктивом заповнено імерсійною рідиною. 2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що підкладка диска-оригіналу виготовлена з лейкосапфіру або кварцу, або силікатного скла. (19) (21) 20040503339 (22) 05.05.2004 (24) 15.08.2006 (46) 15.08.2006, Бюл. № 8, 2006 р. (72) Петров Вячеслав Васильович, Шанойло Семен Михайлович, Крючин Андрій Андрійович, Зенін Володимир Миколайович, Бородін Юрій Олександрович (73) ІНСТИТУТ ПРОБЛЕМ РЕЄСТРАЦІЇ ІНФОРМАЦІЇ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ (56) Helman van Santen. Deep-UV liguid immersion mastering of nigh density optical discs. Proc. SPIE vol.5040, p. 1750-1755, 2003 3 76517 4 Використання водної імерсії дозволяє Запропонований спосіб запису інформації на підвищити щільність запису (пропорційно квадрату диск-оригінал забезпечує підвищення щільності заломлення імерсійної рідини) у (1,33)2 ~ 1,77 разапису у 2,6 рази при використанні підкладок з зи. Недоліком прототипу є те, що вибір імерсійних сучасного оптичного матеріалу лейкосапфіру. Крім рідин обмежен тими, які вилучаються повністю з того запис скрізь прозору підкладку та шар поверхні фоторезисту та не заважають процесу імерсійної рідини зменшує вплив пилу та інших його селективного травлення після запису. Тому і забруднень на процес запису інформації на дискобрана вода, як імерсійна рідина, що повністю оригінал. Ці частинки можуть потрапити до шару може бути вилучена з поверхні світлочутливого імерсійної рідини і будуть знаходитися не у фоторезисту, але вона має не високий показник фокальній площині оптичної записуючої системи. заломлення, що обмежує підвищення щільності Винахід пояснюється графічним зображенням запису. Головний недолік прототипу полягає в то(фіг. 2), яке пояснює реалізацію запропонованого му, що під дією води (або іншої імерсійної рідини) способу запису. має місце набхання фоторезисту під час запису. Для реалізації запропонованого способу Різні ділянки шару фоторезисту знаходяться від інформації на диск-оригінал необхідно використоводою не однаковий час за рахунок розтікання вувати спеціальні мікрооб'єктиви із значним рідини і це негативно впливає на отримання вільним відрізком. Можуть бути розроблені та однорідних (без косметичних дефектів) шарів завиготовлені необхідні для надщільного запису писаного та селективного проявленого фоторезивисокоапертурні фокусуючи об'єктиви сту. (A 0,85 0,95) з вільним відрізком (1,0-2,0) мм. Задача винаходу полягає у створенні Це визначає діапазон товщини прозорих підкладок надійного методу надщільного запису інформації дисків-оригіналів: (0,6-1,8) мм. Менші товщини на диск-оригінал з використанням рідинопідкладок не забезпечать необхідну механічну імерсійного запису. прочність підкладок та їх площинність. ВикориПоставлена задача досягається тим, що в стання підкладок більшої товщини не доцільно спосіб! запису інформації на диск-оригінал, який тому, що із ростом товщини підкладок необхідно полягає у нанесені на підкладку диску-оригіналу збільшувати вільний відрізок фокусуючого шару фоторезисту, експонуванні його оптичними об'єктива, що приводить до значного збільшення імпульсами різної тривалості скрізь імерсійну його маси і як наслідок зменшення точності роботи рідину запис здійснюється скрізь прозору підкладу системи автоматичного фокусування лазерного диску-оригіналу, простір між якою та фокусуючим випромінювання. Оптимальною товщиною об'єктивом заповнено імерсійною рідиною з показпідкладок дисків-оригіналів, на яких буде ником заломлення рівним показнику заломлення здійснюватися запропонований спосіб запису матеріалу підкладки. складає (1,2-1,6) мм. У цей діапазон потрапляють Для максимального збільшення щільності заза товщиною стандартні підкладки, які використопису на диски-оригінали доцільно використовувати вуються у процесі виготовлення компакт-дисків. прозорі матеріали з високими значеннями показ1. Пат. США 6423477; 23.07.2002. Method of ника заломлення, а саме лейкосапфір (n=1,62), manufacturing a stamper for producing optical discs. сілікатне скло (n=1,56), кварцу (n=1,57). T.W.Engelen. ODME International. В якості імерсійних рідин можуть використову2. Пат. України 1371, 30.01.1993. Оптичний ватися різні кремній органічні сполуки, вибір яких запам'ятовуючий пристрій. Петров В.В. та інші. полегшено тим, що імерсійна рідина не контактує з ІПРІ ПАН України. шаром фоторезистуі після завершення запису 3. Helman van Santen. Deep - UV liguid immerінформації не виникає потреби в очищені фотореsion mastering of nigh density optical discs. Proc. зисту від залишків імерсійної рідини. SPIE vol. 5040, p. 1750-1755, 2003. 5 Комп’ютерна верстка М. Клюкін 76517 6 Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601