Патенти з міткою «багатовістряного»
Спосіб обробки багатовістряного польового емітера
Номер патенту: 21661
Опубліковано: 15.03.2007
Автори: Ксенофонтов В'ячеслав Олексійович, Саданов Євген Вікторович, Форбс Ричард Г., Мазілова Тетяна Іванівна, Мазілов Олексій Олександрович, Михайловський Ігор Михайлович
МПК: H01J 37/26
Мітки: багатовістряного, обробки, польового, емітера, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб обробки багатовістряного польового емітера, що включає розміщення багатовістряного польового емітера в камері, дію на емітер позитивним електричним полем, який відрізняється тим, що дію на емітер позитивним електричним полем проводять у присутності хімічно активного газу, що стимулює польове випарювання, а напруженість електричного поля збільшують до значення, що відповідає порогу стимульованого польового випарювання вістер з...