Мазілов Олексій Олександрович
Спосіб виготовлення вістряного емітера
Номер патенту: 109246
Опубліковано: 27.07.2015
Автори: Старченко Ігор Володимирович, Гордієнко Юлія Олександрівна, Саданов Євгеній Вікторович, Великодна Ольга Олександрівна, Мазілов Олексій Олександрович
МПК: H01J 1/304, H01J 37/285, H01J 9/02 ...
Мітки: спосіб, виготовлення, вістряного, емітера
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення вістряного емітера, за яким вольфрамову заготовку спочатку піддають електрохімічному травленню до отримання радіуса кривизни вістря заготовки 20-70 нм, потім заготовку піддають польовому травленню в газовому азотному середовищі у вакуумній камері польового іонного мікроскопа при постійній напруженості електричного поля в інтервалі від 24 до 57 В/нм до видалення з поверхні мікровиступів, який відрізняється тим, що...
Спосіб обробки багатовістряного польового емітера
Номер патенту: 21661
Опубліковано: 15.03.2007
Автори: Мазілова Тетяна Іванівна, Мазілов Олексій Олександрович, Форбс Ричард Г., Михайловський Ігор Михайлович, Саданов Євген Вікторович, Ксенофонтов В'ячеслав Олексійович
МПК: H01J 37/26
Мітки: обробки, спосіб, польового, емітера, багатовістряного
Формула / Реферат:
Спосіб обробки багатовістряного польового емітера, що включає розміщення багатовістряного польового емітера в камері, дію на емітер позитивним електричним полем, який відрізняється тим, що дію на емітер позитивним електричним полем проводять у присутності хімічно активного газу, що стимулює польове випарювання, а напруженість електричного поля збільшують до значення, що відповідає порогу стимульованого польового випарювання вістер з...