Патенти з міткою «безпрошаркового»

Номер патенту: 23138

Опубліковано: 30.06.1998

Автори: Черненко Михайло Анатолійович, Доценко Федір Федорович, Башев Валерій Федорович, Брехаря Григорій Павлович, Рябцев Сергій Іванович

МПК: C23C 14/06

Мітки: мідного, спосіб, безпрошаркового, покриття, отримання

Формула / Реферат:

Способ получения бесподслойного медного покрытия, включающий в непрерывном цикле предварительную обработку подложки и напыление, отличающийся тем, что предварительную обработку проводят путем подачи отрицательного потенциала между анодом и металлическим подложкодержателем величиной -100±5 В в течение 90±10 сек, а напыление до толщины покрытия 0,1-0,2 мкм осуществляют трех-электродным ионно-плазменным методом при напряжении на мишени -1,2 кВ в...