Патенти з міткою «двухкоординатний»
Двухкоординатний фотопотенціометричний датчик
Номер патенту: 24147
Опубліковано: 30.10.1998
Автори: Куссуль Михайло Ернестович, Якименко Юрій Іванович, Клочко Станіслав Федорович
Мітки: фотопотенціометричний, двухкоординатний, датчик
Двухкоординатний стіл
Номер патенту: 9306
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Кальянов Віктор Миколайович, Тетерьвов Валерій Іванович, Горлов Олександр Михайлович
МПК: H01L 21/00, F01L 25/00
Мітки: двухкоординатний, стіл
Формула / Реферат:
1. Двухкоординатный стол, содержащий основание, продольную каретку с направляющими, закрепленными на основании, поперечную каретку с направляющими, закрепленными на продольной каретке, шаговые приводы продольной и поперечной кареток, выполненные в виде пневмо- или гидроцилиндров с подвижными в осевом направлении ползунами с установленными в них с возможностью поперечного перемещения поводковыми штырями, и шаговые рейки продольной и...