Патенти з міткою «двухкоординатний»

Двухкоординатний стіл

Завантаження...

Номер патенту: 9306

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Кальянов Віктор Миколайович, Тетерьвов Валерій Іванович, Горлов Олександр Михайлович

МПК: H01L 21/00, F01L 25/00

Мітки: двухкоординатний, стіл

Формула / Реферат:

1. Двухкоординатный стол, содержащий ос­нование, продольную каретку с направляющими, закрепленными на основании, поперечную карет­ку с направляющими, закрепленными на продоль­ной каретке, шаговые приводы продольной и поперечной кареток, выполненные в виде пневмо- или гидроцилиндров с подвижными в осевом на­правлении ползунами с установленными в них с возможностью поперечного перемещения повод­ковыми штырями, и шаговые рейки продольной и...