Двухкоординатний стіл

Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано, в частности, в автоматах для сборки измерения. контроля и различной технологической обработки в производстве полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей путем увеличения диапазона шаговых перемещений, для чего двухкоординатный шаговый стоп имеет дополнительный привод в виде пневмо- или гидроцилиндра с ограничителями его хода. Шток дополнительного привода совмещен со штоком основного привода продольной каретки размещен в его ползуне и установлен с возможностью перемещения на величину, равную половине величины шага продольной каретки Ограничители хода пневмо(гидро)цилиндра выполнены в виде торцов поршня дополнительного привода или регулируемых упоров установленных на штоке по обе стороны ползуна 3 зпф-пы, 6 ил. ы о\ Он О 00 р 1526508 Изобретение относится к технологическому оборудованию, в частности к устройствам для обеспечения линейных шаговых перемещений по двум координатам, и может быть использовано е технологическом 5 оборудовании различного назначения, например в автоматах для сборки, измерения, контроля и различной технологической обработки в производстве полупроводниковых приборов. 10 Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей путем увеличения диапазона шаговых перемещений с помощью введения дополнительного привода по одной из координат, 15 На 4 иг-. 1 показано предлагаемое устройство в аксонометрии; на фмг. 2 - разрез А-А на фиг. 1: на фиг, 3 - кассета с шахматным расположением ячеек; на Лиг. 4 - огранмчитель хода в торец поршня (в обе 20 стороны); нз фиг, 5 - ограничитель хода в торец поршня и D регулируемый упор; на фиг, 6 - ограничитель уода в два регулируемых упора. Двухкоординатный стол содержит осно- 25 вание 1, продольную каретку 2 с направляющими 3, поперечную каретку 4 с направляющими 5, расположенными на продольной каретке 2, шаговые приводы з виде пневмо- или гидроцигнмдров' привод 30 в продольного перемещения на шаг ti и їіиирод 7 поперечного перемещения на шаг t2. Шагосые приводы б и 7 смонтированы с плаунами 8 и 9, при этом ползун 9 с приводом 7 - жестко, з ползун 8 с приводом 6 - 35 свободно, с возможностью перемещения. В обоих ползунах 8 и 9 смонтированы одинаковые поводковые шгыри 10 м 11 с возможностью поперечного перемещения с ломощью пневмо-или гидроцилиндров 12 8 40 ползуне 8 и аналогично ему в ползуне 9 (иа чертеже не показан). Нз каретках 2 и 4 закреплоны шаговые рейки 13 и 14. Привод 6 продольного г фемощения содержит шток 15 и поршем! 16 заведенный 45 дополнительный привод і 7 выполнен в виде пневмо- или гидронилиидр'}, ппи этом поршень 18 его установлен ня штоке 19 и одновременно встроен Б ползун 19 и одновременно встроен в ползун 8 привода 50 продолььой каретки. При этом ползун 8 привода nor дольной каретки выполняет функцию цилиндра дополнительного природа 17. Ползун 8 устано&пен с возможностью 55 дополнительного перемещения на величину, оапную половине шага tt/2, при помощи ограничителей хода, котооые могут быть выполнены а виде торцов 20 и 21 поршня (см, фиг, 2 и А) пли pfr/лируемсго упорэ 22 уста новленного на штоке 15, и